レーザー式欠陥検査装置 LD-01

 本装置は、半導体レーザビームを高速にスキャンさせ対象検査物に照射し、その反射光や透過光を感度の高いホトマルで受光して欠陥を高速に検出できる検査装置です。OPCドラムの表面上の微小キズ、ムラ等の欠陥検査やグリーンシートなどの透過率の低いシート素材の内部の透過検査が可能です。

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