ノンコンタクト搬送パッド

工程処理間のワーク移送のための搬送技術は、自動化に不可欠な技術です。半導体製造プロセスや液晶製造プロセスの大型化、微細化が進む中、よりクリーンでファインな吸着搬送技術が求められています。
ノンコンタクト搬送技術は、ベルヌーイの原理を利用しています。流体を狭まった流路に導入すると、ベルヌーイの原理により流速が増し圧力は低下する。この圧力低下を利用しワークを搬送します。ノンコンタクト搬送技術は、ワークに接触することなく搬送する技術で、ワークの汚染がなく、正に理想的な搬送技術です。