微小高さ測定ユニット

非接触３次元形状測定装置「NAFS-3000series」で培った技術を利用した、機器組込に最適な高精度変位レーザセンサーヘッドです。例えば、製造ライン上の門型移動部に取り付けることで、大型測定物の高さ変位をミクロン単位で測定することが可能です。製造途中段階でミクロン単位の検査が行えるので、完成品の精度が向上し、生産効率アップにつながります。
　光学部品、精密加工部品、電子部品半導体・液晶・PDPなどの分野での利用が可能です。

＜特長＞
１． 0.1μｍから最大400μmまでの変位量を非接触で計測。
２．測定物にダメージを与えない、赤色半導体レーザーによる非接触測定方式（レーザープローブ）を用いたオートフォーカス。
３．外部I/FにはRS232C及びLANによる上位コントローラーからの制御が可能。
４．ワークの位置決めステージと組み合わせることで、ワークの３次元形状測定が可能。