ノードソンDAGE　Ｘ線検査装置・Ｘ線ＣＴ装置

Ｘ線検査装置で世界の半導体・基板検査のマーケーットリーダーであり、欠陥検出を簡単に行うことで品質の向上に貢献します。

英国アイルズベリーを拠点とするNordsonDAGEでは、Ｘ線発生器、電源、ディテクターの主要部品を自社で設計、製造しています。
世界最高レベルでの検査ソリューションを提供します。

Quadra7 認識解像度　0.10μm 最大出力　20W
Quadra5 認識解像度　0.35μm　最大出力　20W
Quadra3 認識解像度　0.95μm　最大出力　10W

本機の特徴
・ノードソン・デイジ社製メンテフリー仕様、
　シールド・トランスミッシブ管Ｘ線発生器 『Quadra NT』搭載
・認識解像度 0.1μm（10Wまで）/ 0.3um（20Wまで）
・管電圧30-160kV、最大出力20W
・6.7M pixel フラットパネル検出器『Aspire FP』搭載
・24インチ 4K モニター x2（デュアルモニターシステム）
・最大幾何学倍率 2,500培 デジタルズーム使用時最大 68,000倍
・大型テーブル 508 x 444mm を採用
・最大サンプル重量5kg、最大サンプル高さ210mmまで対応
・Ｘ線検出器をMax70°傾動、観察ポイントを中心に360°方向から観察可能
・マッピング機能を使って観察位置を指定、オートトラッキング機能により目標位置をずらさず観察可
・サンプル自体（テーブル）を回転させないため、人間目線でスムースに観察ポイントに到達できます
・エアーによる防振機構（AXiS）を標準装備