半導体用ベーキング装置

ホットプレートからベーキング装置の設計・製作までトータルサポート

・半導体ウエハ加熱温度均一性能に優れた高温対応（350℃）が可能な高温ホットプレートです。
・昇温・降温ともにクイックレスポンスを実現し、特別な付帯設備が不要で、温度設定変更時の面内均一性に優れた半導体製造装置用昇降温型ホットプレートも開発しました。
・当社はこれらのホットプレートの性能をフルに発揮するベーキング装置も設計・製作しています。