ワイヤープローブ検査治具の通電劣化の解析

　ワイヤープローブを使った電気検査治具の耐久性の改善や接触抵抗の安定性の改善などの課題があると思います。
耐久性の課題は、プローブ先端の変形・摩耗などの劣化が原因で、接触抵抗が増加したり変動が起きたりすることだと理解しています。
　その対策としては、硬度の高い材料採用したり、半田と接触する場合は半田との反応が起きにくい材料を使うか、プローブの表面いメッキ処理を行う方法がとられていました。
　一方で、半導体の検査などでは一度に検査するパッドの数の増加に伴い、狭ピッチ化や低荷重化の要求が高まっています。
　実験事実として、通電しない場合の耐久試験結果と通電した場合では、通電したほうが耐久性が低下します。プローブによっては大幅に低下するケースもあります。
　このことは通電が耐久性に大きく影響していることを意味しています。
　あるクライアントと分担をしてこの原因お究明を行いました。当社の分担はこの現象をモデル化して解析的を行う事で、クライアントは評価実験を担当しました。解析結果が実験事実と整合したことで原因の解明ができたと考えています。
　この結果からワイヤープローブの新たな設計指針を得る事が出来ました。
　
　私は、ワイヤープローブメーカに6年在籍し検査治具開発を取締役兼執行役員・研究開発部長として推進しました。
検査治具の設計や評価の知見があります。
　
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